Metal rotary target
Paglalarawan ng Produkto
Metal Rotary Target
Ang mga orthogonal magnetic at electric field ay inilalapat sa pagitan ng sputtering target (cathode) at ng anode.At punan ang kinakailangang inert gas (karaniwan ay Ar gas) sa mataas na vacuum chamber.Sa ilalim ng pagkilos ng isang electric field, ang Ar gas ay na-ionize sa mga positibong ion at electron.Ang isang tiyak na negatibong mataas na boltahe ay inilalapat sa target, ang mga electron na ibinubuga ng target ay apektado ng magnetic field, ang posibilidad ng ionization ng gumaganang gas ay tumataas, ang isang high-density na plasma ay nabuo malapit sa katod, at ang Ar ion ay apektado. ng puwersa ng Lorentz.Pagkatapos ay pabilisin ang paglipad sa target na ibabaw, at bombahin ang target na ibabaw sa mataas na bilis, upang ang mga sputtered atoms sa target ay sumunod sa prinsipyo ng momentum conversion, lumipad mula sa target na ibabaw patungo sa substrate, at magdeposito ng mataas na kinetic energy film.
Upang higit pang mapabuti ang rate ng paggamit ng target na materyal, ang isang umiikot na katod na may mas mataas na kahusayan sa paggamit ay idinisenyo, at isang pantubo na target na materyal ay ginagamit para sa sputtering coating.Ang pagpapabuti ng sputtering equipment ay nangangailangan ng target na baguhin mula sa isang flat na hugis sa isang tubular na hugis, at ang utilization rate ng tubular rotating target ay maaaring kasing taas ng 70%, na higit sa lahat ay nalulutas ang problema ng mababang paggamit ng flat target.
| Pangalan ng mga produkto | Metal rotary target |
| materyal | W, Mo, Ta, Ni, Ti, Zr, Cr, TiAl |
| Laki ng hot sale | ID-133/ OD-157x 3191mm ID-133/OD-157 X 3855mm ID-160/OD-180x1800mm Maaari ding iproseso ayon sa mga partikular na pangangailangan ng mga customer |
| MOQ | 3 piraso |
| Package | Ply wooden case |
Tandaan: Pangunahing gumagawa kami ng iba't ibang mga target na metal, mangyaring kumonsulta sa amin para sa mga detalye.
Aplikasyon
Ang sputtering coating ay isang bagong uri ng physical vapor coating method.Kung ikukumpara sa paraan ng evaporation coating, mayroon itong malinaw na mga pakinabang.
sa maraming aspeto.Nagamit na ang mga target ng metal sputtering sa maraming larangan.Ang pangunahing aplikasyon ng umiikot na target.
■Mga solar cell
■Arkitektural na salamin
■Auto salamin
■Semiconductor
■Flat-screen TV, atbp
Impormasyon ng Order
Ang mga katanungan at order ay dapat kasama ang sumusunod na impormasyon:
☑Target na detalye ID×OD×L (mm).
☑Mga kinakailangang Dami.
☑Mangyaring makipag-ugnayan sa amin para sa higit pang mga espesyal na pangangailangan.
