Paano Gumagana ang Magnetron Sputtering?
Ang Magnetron sputtering ay isang paraan ng physical vapor deposition (PVD), isang klase ng mga proseso ng vacuum deposition para sa paggawa ng mga manipis na pelikula at coatings.
Ang pangalang "magnetron sputtering" ay nagmula sa paggamit ng mga magnetic field upang kontrolin ang pag-uugali ng mga particle ng sisingilin ng ion sa proseso ng pagdeposito ng magnetron sputter.Ang proseso ay nangangailangan ng isang mataas na silid ng vacuum upang lumikha ng isang mababang presyon na kapaligiran para sa sputtering.Ang gas na bumubuo sa plasma, karaniwang argon gas, ay unang pumapasok sa silid.
Ang isang mataas na negatibong boltahe ay inilapat sa pagitan ng cathode at anode upang simulan ang ionization ng inert gas.Ang mga positibong argon ions mula sa plasma ay bumangga sa negatibong sisingilin na target na materyal.Ang bawat banggaan ng mga particle na may mataas na enerhiya ay maaaring magdulot ng paglabas ng mga atom mula sa target na ibabaw sa vacuum na kapaligiran at itulak sa ibabaw ng substrate.
Ang isang malakas na magnetic field ay gumagawa ng mataas na plasma density sa pamamagitan ng pagkulong sa mga electron malapit sa target na ibabaw, pagtaas ng rate ng deposition at pagpigil sa pinsala sa substrate mula sa ion bombardment.Karamihan sa mga materyales ay maaaring kumilos bilang isang target para sa proseso ng sputtering dahil ang magnetron sputtering system ay hindi nangangailangan ng pagtunaw o pagsingaw ng pinagmulang materyal.
Mga Parameter ng Produkto
Pangalan ng mga produkto | Purong titanium target |
Grade | Gr1 |
Kadalisayan | Higit 99.7% |
Densidad | 4.5g/cm3 |
MOQ | 5 piraso |
Laki ng hot sale | Φ95*40mm Φ98*45mm Φ100*40mm Φ128*45mm |
Aplikasyon | Patong para sa PVD machine |
Laki ng stock | Φ98*45mm Φ100*40mm |
Iba pang magagamit na Mga Target | Molibdenum(Mo) Chrome(Cr) TiAl Copper(Cu) Zirconium(Zr) |
Aplikasyon
■Coating integrated circuits.
■Mga display ng surface panel ng mga flat panel at iba pang bahagi.
■Dekorasyon at glass coating, atbp.
Anong mga produkto ang maaari nating gawin
■High-purity titanium flat target (99.9%, 99.95%, 99.99%)
■Karaniwang sinulid na koneksyon para sa madaling pag-install (M90, M80)
■Independent production, abot-kayang presyo (quality controllable)
Impormasyon ng Order
Ang mga katanungan at order ay dapat kasama ang sumusunod na impormasyon:
■ Diameter, Taas (tulad ng Φ100*40mm).
■ Laki ng thread (Tulad ng M90*2mm).
■ Dami.
■ Purity demand.